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          日本sscooling架式冷水機組ThermoRack 1201 實驗室冷水機
          
            
          
              
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          更新日期：2024-03-24
          
              
          簡要描述：
          
              
          日本sscooling架式冷水機組ThermoRack 1201
          適用于等離子刻蝕和其他半導體應用的機架式冷水機組
          
            
          
          
          
          
          
            
          日本sscooling架式冷水機組ThermoRack 1201 實驗室冷水機
          
            
          
              
          
                
            
                  
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          冷卻方式水冷式儀器種類分體式
          
                            
                                  
                    
          
                
          日本sscooling架式冷水機組ThermoRack 1201
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          • 1，200 瓦的冷卻能力
          • ±0.05°C 溫度穩(wěn)定性/重復性
          • 工作溫度范圍：-10°C 至 80°C
          • 專為非?？焖俚捻憫O計
          • 減少晶圓間的變化，消除晶圓效應
          • 比基于壓縮機的冷水機組節(jié)能高達 80%
          • 采用熱電技術(shù)，可靠性高，維護成本低
          • 設計簡單 – 只有 2 個活動部件
          • 消除氟利昂和其他有害制冷劑，符合新的環(huán)境法規(guī)
          • 使用更少的設施水和昂貴的冷卻劑，如氟惰性或高登
          • 緊湊的尺寸：多達 6 個 TR1201 系統(tǒng)適合 1 臺壓縮機冷水機組的空間
          • 通信接口可用于 AMAT、LAM、TEL 和 Hitachi 系統(tǒng)
          • 通用電源 – 插入即可在世界任何地方使用
          • 等離子刻蝕、等離子灰、CMP 和其他工藝的解決方案
          • 輔助加熱器可用于加熱65°C以上
          • 詢問我們的以舊換新優(yōu)惠
          日本sscooling架式冷水機組ThermoRack 1201
          規(guī)格

          工作范圍：
          5°C 至 80°C（-10°C 至 80°C，帶 N2 選項）
          如果在 0°C 以下工作，則需要 LT 選件
          環(huán)境溫度：
          10°C 至 40°C 無冷凝
          穩(wěn)定性/可重復性：
          恒定負載下± 0.05°C（即使在接近環(huán)境溫度時）
          制冷量*：
          ~1，200 瓦 @ 20°C，20°C 設施用水
          加熱能力**：
          ~2，000 瓦 @ 20°C，20°C 設施用水
          冷卻液/工藝流體：
          氟惰性/高登/HFE或水/乙二醇
          工藝流體接頭：
          1/2“ 世偉洛克（316 不銹鋼）
          泵：
          無刷直流磁力驅(qū)動離心機
          流量
          14-18 升/分鐘@ 20 psig（取決于工藝流體）
          油箱容積：
          5.7 升（1.5 加侖），帶 2 個液位傳感器
          設施用水：
          4-19 升/分鐘（1-5 加侖/分鐘）@ 10-35°C 過濾，處理過的再循環(huán)設施冷卻水，pH 6.5 至 8.2
          設施水配件：
          1/2“ 世偉洛克（316 不銹鋼）
          N2/CDA（N2 選項）
          500 sccm -30°C 露點或更低的 CDA 或 N2，
          30-60 psig （2-4 bar），用于低溫操作
          接液材料：
          工藝：鋁，不銹鋼和聚合物設施
          ：密封硬質(zhì)陽極氧化鋁
          和不銹鋼
          尺寸（寬 x 深 x 高）：
          19 英寸 x 24 英寸 x 8.7 英寸 5U（48 厘米 x 61 厘米 x 22 厘米）
          重量：
          70 磅（31 千克）
          電源輸入：
          200-240 VAC 1 相，50/60 Hz，最大 10 A
          斷路器：
          16 安培 200-250 VAC 2 極，帶 30 mA GFCI
          遠程EMO：
          外部干接點
          通信：
          泛林， 應用材料公司，  RS232， 其他
          警報：
          溫度、液位、系統(tǒng)或組件
          故障（顯示、干接點和機器接口）
          標準：
          半 S2-0200，符合 F47 標準，CE
          保證：
          2 年
          *注意：冷卻能力會因配置和設施而異 水溫/流速
          **注意：80°C的加熱能力非常有限。
          
              
          



          

          
	
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                請輸入計算結(jié)果（填寫阿拉伯數(shù)字），如：三加四=7
            
            
		
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