SiC多晶的導(dǎo)熱性分布評估分析

發(fā)布日期：2023-05-10      瀏覽次數(shù)：934

SiC多晶的導(dǎo)熱性分布評估分析

我們測量了SiC多晶（陶瓷）的熱滲透率分布，并可視化了燒結(jié)體微米量級的熱滲透率分布。 此外，GaN和金剛石可以在寬帶隙材料中測量。

各種材料的熱物理特性（導(dǎo)熱性和熱滲透性）的分布測量現(xiàn)在可以以微米量級的分辨率進行。 通過評估材料中熱物理性能（導(dǎo)熱性和導(dǎo)熱性）的分布，有望顯著改善高導(dǎo)熱材料的性能。

國家先進工業(yè)科學(xué)技術(shù)研究院先進制造工藝研究室先進燒結(jié)技術(shù)研究組。



碳化硅材料	導(dǎo)熱系數(shù) [Wm-1K-1]	熱穿透 [JS-0.5m-2K-1]
4H-C 碳化硅	440	30,400
6H-C 碳化硅單晶	366	28,100
碳化硅單晶	274	24,200






































用熱顯微鏡TM3評估材料的熱穿透均勻性

AlN的透熱性分布評估（AIST先進制造工藝研究部）

可以確認AlN壓痕部分的熱滲透率較低。



金屬玻璃熱滲透率的評價（東京工業(yè)大學(xué)）

金屬玻璃的均勻性可以通過測量透熱性的分布來確認。