日本amux超純水專用的鈦制熱交換器產品介紹

發(fā)布日期：2025-07-02      瀏覽次數：36

替代傳統(tǒng)特氟龍制造熱交換器的鈦制造熱交換器


超純水專用的鈦制熱交換器

由于材料是鈦，與特氟龍相比，可以得到非常大的熱交換效率。
利用緊湊且所需的冷卻水量較少的優(yōu)點，即使在設備局部線路上控制水溫，由于安裝空間小，這也是一個巨大的優(yōu)點。
價格也比特氟龍制造的要低，可以以低成本提供。
可以替代傳統(tǒng)的特氟龍制造的熱交換器使用。

超純水

• 由于不純物和金屬離子的溶解極少（保持在TOC 10ppb的水平），因此與特氟龍制造的熱交換器具有同等的清潔度。
  （在多家半導體制造設備制造商中都有實績。）

臭氧水

• 臭氧水也可以正常使用。




世界初！鈦制沖壓板式熱交換器配備

通過世界的鈦合金燒結超級清潔制造方法，利用鈦制造的燒結專用技術開發(fā)了原創(chuàng)熱交換器，該技術適用于部件和連接材料。
成功實現(xiàn)了從傳統(tǒng)的特氟龍熱交換器大幅縮小的尺寸。
由于體積縮小，變得輕便且不占空間，便于安裝。

半導體制造商的成分分析符合標準值

• 在TOC=10ppd的情況下，達到超級清潔。實現(xiàn)了無污染！

• 非電阻=15MΩ以上でクリア。




與特氟龍制造的熱交換器比較

• 1. 價格便宜

• 2. 非常緊湊

• 3. 降低冷卻水的流量（使用量）（節(jié)能）

• 4. 在冷卻水溫度和接近的水溫下，可以提取超純水
  (最大溫差2°C以內)

 






機種?型號	TBS-MT05	TBS-MT07	TBS-MT11	TBS-MT21	TBS-LT21	TBS-LT41
尺寸L×W×H	310×90×25	310×90×33	310×90×47	310×90×82	580×150×80	580×150×156
回路數(高溫/低溫)	5（2/3）	7（3/4）	11（5/6）	21（10/11）	21（10/11）	41（20/21）
傳熱面積(平方米)	0.085	0.128	0.213	0.427	1.388	2.776
設計壓力(MPa)	2兆帕
設計溫度(°C)	-196°C~+200°C
流量(升/分鐘)	2~16	2~24	2~40	2~80	10~200	10~400
本體質量(kg)	1.35	1.65	2.26	3.8	11.4	21.5